【中國(guó)儀表網(wǎng) 儀表市場(chǎng)】MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器件。它是指可以批量制造的，集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)之一，也是物聯(lián)網(wǎng)的重要組成部分。
 

 

　　與傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。在微米量級(jí)的特征尺寸MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。因此，MEMS傳感器正逐步取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器的主導(dǎo)地位，在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
 

 

　　從產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)來(lái)看，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的上游產(chǎn)業(yè)鏈包括新材料、新工藝、新的制造設(shè)備等。MEMS傳感器材料分半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、金屬材料和有機(jī)材料四大類。下游應(yīng)用與工業(yè)、汽車電子產(chǎn)品、通信電子產(chǎn)品、消費(fèi)電子產(chǎn)品、專用設(shè)備等相關(guān)聯(lián)。由此可知，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)上下游所涉及的領(lǐng)域范圍非常廣泛。
 

 

 

　　我國(guó)對(duì)MEMS傳感器十分重視，出臺(tái)了系列文件大力支持其發(fā)展。例如，在我國(guó)發(fā)布的《中國(guó)制造2025》和《國(guó)務(wù)院關(guān)于積極推進(jìn)“互聯(lián)網(wǎng)+”行動(dòng)的指導(dǎo)意見(jiàn)》中均提及要大力推動(dòng)傳感器等智能感知元器件的發(fā)展和技術(shù)突破。“863”計(jì)劃和國(guó)家科技重大專項(xiàng)均部署了一批MEMS傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。
 

　　因此，盡管MEMS傳感器在我國(guó)商業(yè)化的時(shí)間不到10年，我國(guó)MEMS傳感器行業(yè)在快速發(fā)展下，已成為全球MEMS傳感器行業(yè)的增長(zhǎng)引擎，構(gòu)建了從科研、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)到代工制造、封裝測(cè)試、下游應(yīng)用的完整產(chǎn)業(yè)鏈，重點(diǎn)產(chǎn)品包括運(yùn)動(dòng)類、聲學(xué)類、射頻類、紅外成像等多個(gè)領(lǐng)域。
 

　　中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈趨于完整，主要分布在長(zhǎng)三角、珠三角地區(qū)
 

　　在中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中，科研環(huán)節(jié)上，我們有包括清華北大等眾多高校以及科研機(jī)構(gòu)；產(chǎn)品研發(fā)則主要包括括上海微技術(shù)工業(yè)研究院、蘇州納米城、無(wú)錫物聯(lián)網(wǎng)等單位；設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)有MEMSIC、硅睿科技、敏芯微電子等；代工制造包括中芯國(guó)際、華虹宏力、CSMC、ASMC、耐威科技；封裝測(cè)試包括長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技等；下游應(yīng)用包括智能手機(jī)、平板電腦、汽車、工業(yè)等領(lǐng)域。
 

 

　　應(yīng)用領(lǐng)域上，主要有消費(fèi)移動(dòng)領(lǐng)域、汽車與工業(yè)領(lǐng)域和生物與醫(yī)療領(lǐng)域等。其中，我國(guó)MEMS企業(yè)主要分布在消費(fèi)與移動(dòng)領(lǐng)域和汽車與工業(yè)領(lǐng)域；主要產(chǎn)品包括壓力傳感器、麥克風(fēng)、紅外熱成像等。
 

 

　　在區(qū)域分布方面，根據(jù)SITRI機(jī)構(gòu)研究，我國(guó)MEMS企業(yè)主要分布在上海、蘇州、無(wú)錫等地，分別占比19%、18%和16%。長(zhǎng)三角、珠三角為產(chǎn)業(yè)集中區(qū)域。