【儀表網(wǎng) 儀表上游】提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球僅有的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設(shè)備。不過ASML不只是光刻機(jī)厲害，今天他們宣布了另外一個(gè)新產(chǎn)品――第一代HMI多光束檢測(cè)機(jī)HMI eScan1000，適用于5nm及更先進(jìn)工藝，使得產(chǎn)能大漲600%。
 

　　半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連，因此，半導(dǎo)體技術(shù)也要隨之提成。
 

　　據(jù)悉，隨著制程工藝不斷提升，晶圓的制造也越來越復(fù)雜，這也會(huì)導(dǎo)致晶圓中的錯(cuò)誤更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術(shù)的檢測(cè)系統(tǒng)，內(nèi)部也有復(fù)雜的光電子系統(tǒng)，能夠產(chǎn)生、控制多個(gè)電子束，然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質(zhì)量，并有高速運(yùn)行的平臺(tái)以控制測(cè)試的晶圓數(shù)量，還要有計(jì)算系統(tǒng)處理電子束的數(shù)據(jù)。
 

　　簡(jiǎn)單來說，ASML研發(fā)的這個(gè)HMI eScan1000機(jī)器就是一臺(tái)驗(yàn)證先進(jìn)工藝生產(chǎn)出來的晶圓質(zhì)量的系統(tǒng)，工藝越先進(jìn)，檢測(cè)系統(tǒng)就越重要，它的檢測(cè)精度、吞吐量決定了生產(chǎn)的效率。
 

　　ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時(shí)產(chǎn)生、控制九道電子束，所以產(chǎn)能提升了600%，可以大大減少晶圓質(zhì)量分析所用的時(shí)間。
 

　　目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進(jìn)工藝的晶圓測(cè)試，已經(jīng)交付給客戶進(jìn)行測(cè)試驗(yàn)證，未來ASML還會(huì)推出光束更多的測(cè)試設(shè)備以滿足客戶對(duì)先進(jìn)工藝的要求。