【中國(guó)儀表網(wǎng) 儀表專(zhuān)利】創(chuàng)意無(wú)極限,儀表大發(fā)明。今天為大家介紹一項(xiàng)國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利――一種裝有多旁路測(cè)量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?/a>。該專(zhuān)利由遼寧思凱科技股份有限公司申請(qǐng),并于2017年3月29日獲得授權(quán)公告。
內(nèi)容說(shuō)明
本實(shí)用新型涉及一種燃?xì)獗恚唧w說(shuō)涉及一種裝有多旁路測(cè)量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗怼?/span>
發(fā)明背景
現(xiàn)階段中、低壓的民用、商業(yè)燃?xì)庥脩糁饕褂玫膬x表有膜式燃?xì)獗?/a>,腰輪流量計(jì),渦輪流量計(jì)等,這類(lèi)儀表內(nèi)部有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,需定期維護(hù),維護(hù)費(fèi)用高,長(zhǎng)期使用精度不易保證;測(cè)量范圍窄,量程比小,尤其對(duì)小流量的測(cè)量容易出現(xiàn)漏計(jì)現(xiàn)象;表具體積及重量較大,安裝不便。流量?jī)x表在管道安裝時(shí)要求前直管段為流量?jī)x表直徑的5到10倍或更大,這樣對(duì)于口徑較大的儀表前直管段就需要很長(zhǎng),有些地方受到安裝限制就無(wú)法達(dá)到要求。
公開(kāi)日為2011年3月30日、公開(kāi)號(hào)為CN101126652B的專(zhuān)利文件公開(kāi)了一種電子式質(zhì)量流量燃?xì)庥?jì)量表,包括燃?xì)獗須榫唧w氣密性容腔的殼體,殼體內(nèi)的輸氣管分為獨(dú)立的進(jìn)氣管,以及連接在一起的流量檢測(cè)管和出氣管,進(jìn)氣、出氣管分別與殼體的進(jìn)、出氣口連接,流量檢測(cè)管的下游端與出氣管連接并水平懸空在殼體中,流量檢測(cè)管具有主流氣道和旁路氣道,主流氣道中設(shè)置一用于分流的裝置位于連通旁路氣道的兩通孔之間,旁路氣道的截面積小于主流氣道的截面積,一熱式質(zhì)量流量傳感器的信號(hào)傳感模塊設(shè)于用于檢測(cè)的旁路氣道的內(nèi)壁,主要作用是信號(hào)傳感器模塊測(cè)量出旁路中較少的流量,通過(guò)主流氣道與旁路氣道的面積比,擴(kuò)大燃?xì)獗淼臏y(cè)量量程。它能夠?qū)?jīng)過(guò)的燃?xì)膺M(jìn)行質(zhì)量流量計(jì)量,并且能夠防止燃?xì)庵泻械姆蹓m附著在傳感器原件上。這種燃?xì)獗砟軌驅(qū)崿F(xiàn)燃?xì)庥?jì)量,但是要求前直管段較長(zhǎng),如果進(jìn)氣口前面的管段有閥門(mén)或彎頭就會(huì)產(chǎn)生偏流,這樣進(jìn)入旁路氣道中氣體的流量與主流氣道的流量比例就會(huì)發(fā)生變化,影響燃?xì)獗碛?jì)量的準(zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是針對(duì)以上不足,提供一種具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、易維護(hù),無(wú)需溫壓補(bǔ)償?shù)难b有多旁路測(cè)量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗怼?/span>
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種裝有多旁路測(cè)量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗恚∕EMS質(zhì)量流量傳感器及阻流體,其特征在于:在主流氣道1內(nèi)側(cè)裝有阻流體7,阻流體7位于旁路入口2和旁路出口5之間。旁路入口2經(jīng)旁路氣道3與旁路出口5連接,在旁路氣道3的上方裝有MEMS質(zhì)量流量傳感器4,MEMS質(zhì)量流量傳感器4由傳感器底座6固定。由旁路入口2、旁路氣道3、MEMS流量傳感器4、旁路出口5組成旁路檢測(cè)裝置,1#旁路檢測(cè)裝置8、2#旁路檢測(cè)裝置9、3#旁路檢測(cè)裝置10、4#旁路檢測(cè)裝置11分別放置在主流氣道1外側(cè)呈對(duì)稱(chēng)分布。
本實(shí)用新型的有益效果是,一種帶有多旁路測(cè)量的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?,MEMS流量傳感器可以測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,無(wú)需溫壓補(bǔ)償。MEMS傳感器安裝在旁路上,使得抗污染能力得到提高,另外通過(guò)調(diào)整測(cè)量管道與旁路的分流比可以拓展燃?xì)獗淼牧髁繙y(cè)量范圍。多旁路傳感器的流量測(cè)量方式,通過(guò)多個(gè)旁路氣道的多點(diǎn)測(cè)量,解決了單旁路氣道因氣體偏流引起的主流氣道與旁路氣道流量比例的變化,經(jīng)過(guò)多個(gè)旁路氣道測(cè)量出的數(shù)據(jù)加權(quán)平均計(jì)算,提高了測(cè)量?jī)x表的計(jì)量精度、重復(fù)性和可靠性,減少了流量?jī)x表前直管段長(zhǎng)度。
本實(shí)用新型無(wú)任何機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,無(wú)任何機(jī)械磨損,故障率低,壽命長(zhǎng)。覆蓋中、低壓的民用、商業(yè)燃?xì)庥脩艏肮I(yè)用戶,量程比最大可達(dá)1000:1,超寬的量程范圍使表具不會(huì)出現(xiàn)小流量漏計(jì)現(xiàn)象,具有體積小、重量輕、無(wú)噪聲、不受磁場(chǎng)影響、防拆卸、易安裝、零點(diǎn)穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、精度高、始動(dòng)流量低等特點(diǎn),多傳感器同時(shí)工作,也提高了測(cè)量裝置的可靠性。