【中國儀表網 儀表標準】2018年9月21日，上海計量院起草的《微納米臺階高度樣板校準規范》和《微納米線間隔標準樣板校準規范》兩項地方計量技術規范進行審定。
 

 

　　審定會上，來自于全國幾何量長度計量技術委員會、復旦大學、浙江省計量科學研究院等單位的專家組成的專家組詳細聽取了起草組關于規程編制說明、征求意見匯總與處理、試驗報告的匯報，并對規程送審稿進行了認真討論。
 

　　專家組一致認為兩項校準規范技術資料齊全、內容完整，規范提出的計量特性合理、校準方法科學，同意規程通過審定，將盡快形成報批稿后批準發布。
 

　　微納米臺階高度(深度)標準樣板和微納米線間隔標準樣板主要用于掃描探針顯微鏡、臺階儀、觸針式輪廓儀和光學式表面形貌測量儀等納米測量儀器的校準，在納米級長度量值傳遞中起到關鍵作用。
 

　　以上兩個規范的編制也是國家重大科學儀器設備開發專項“跨尺度微納米測量儀的開發和應用”的輸出成果，規范批準發布后，預計將有效解決本市集成電路制造企業使用的微納米臺階高度(深度)標準樣板和微納米線間隔標準樣板只能依靠國外機構實現溯源的困境，對支撐我國集成電路產業發展有重要的積極意義。